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机译:集成光学元件的离子束微加工
Hugh L. Garvin; E. Garmire; S. Somekh; H. Stoll; A. Yariv;
机译:表面微加工集成光学偏振分束器
机译:集成光学元件的改进时域光束传播方法
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机译:用于干涉梁组合的集成光学元件
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机译:勘误表:SutapunB.等。集成光纤共焦探头的开发和光束形状分析用于小半径透镜高精度中央厚度测量。传感器2015158512-8526
机译:微机械加速度计具有可移动电极和固定电极,分别包括可移动手指和固定手指,该可移动手指和固定手指通过直接蚀刻在基板上的连接梁集成在一起,其中将梁放置在待集成手指的末端附近
机译:无机多层电阻的离子束注入光刻技术及其集成电路,器件和微机组件的硅半导体细结构加工方法
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